可靠性物理

仿真最终工程目标——老化预判。

核心内容

  • NBTI/PBTI:偏置温度不稳定性(阈值电压漂移)

  • HCI热载流子注入:高电场下载流子注入栅介质

  • EM电迁移:金属互连原子迁移→断路

  • TDDB栅介质击穿:时间相关介质击穿

  • 热加速老化模型:Arrhenius方程(高温加速老化)

备注

这正是做晶体管热分析的最终目的——高温如何缩短芯片寿命。 对应Sentaurus Device手册Ch19"退化模型"。