电学¶
半导体器件电学基础——仿真必须首先理解器件的电气行为。
核心内容
半导体物理:能带、载流子浓度、费米能级
PN结理论:耗尽区、正向/反向特性、击穿
MOS器件物理:阈值电压、强/弱反型、亚阈值区
漂移-扩散方程:载流子输运基本方程(TCAD求解对象)
静电场:泊松方程
载流子输运:迁移率、散射机制
IV特性:输出特性、转移特性
ESD:静电放电防护
闩锁效应:CMOS寄生晶闸管
备注
电学是TCAD仿真的第一性基础——器件仿真器求解的核心方程组就是 泊松方程+漂移扩散方程(对应Sentaurus Device第7、8章)。