模型校准与参数提取

TCAD核心技能——仿真不准=模型参数不准。

核心内容

• 参数提取：从实测IV/CV曲线提取模型参数

• 校准流程：对标实测数据迭代调参

• 物理模型选择：迁移率/复合/隧穿模型的选择与适用条件

• Sentaurus物理模型接口：手册Ch39

• 工艺-器件联动校准：工艺参数→器件性能

备注

对应Sentaurus Device手册Ch39"物理模型接口"。仿真结果必须 经校准才可信——这是从"会跑仿真"到"仿真有用"的分水岭。